2026.06.04by 배종인 기자
정부가 반도체 핵심 장비인 EUV(극자외선) 노광장비 도입 절차를 간소화한다. 이에 따라 검사 기간이 대폭 줄어들면서 반도체 생산라인 구축 일정에도 변화가 예상된다. 산업통상부는 2일 국무회의에서 ‘고압가스 안전관리법 시행령’ 일부개정안이 의결됐다고 밝혔다. 이번 개정안은 반도체 제조장비의 안전관리 기준을 조정하는 내용을 담고 있다. EUV 장비는 반도체 공정에서 미세 회로를 형성하는 핵심 설비다. 기존에는 장비 내부에 고압가스 설비가 포함된다는 이유로 ‘고압가스 제조시설’로 분류됐다.
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