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티이엠씨, 동위원소 소재로 반도체 공정·양자 분야 적용 확대

티이엠씨, 동위원소 소재로 반도체 공정·양자 분야 적용 확대

티이엠씨는 27일 반도체 공정용 중수소(D2)를 초고순도 수준으로 정제해 열처리(Annealing) 공정에 양산 공급하고, P형 도펀트 11BF3(삼불화붕소)도 고객 맞춤형으로 생산해 국내와 해외 메모리 고객사에 공급을 시작했다고 밝혔다.

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