2026.02.19by 명세환 기자
반도체 파티클 제어 기업 제덱스가 공정 핵심 부품의 미세 입자를 정량 분석할 수 있는 검사 시스템 ‘M802ESC’를 출시했다. 이 장비는 직경 610mm, 최대 50kg 시료에 대응하며 0.1μm 이상 입자를 기본 검출한다. 옵션 적용 시 10nm 센서를 통해 극초미세 파티클 계수도 가능하다. 비접촉식 입자 추출과 Class 1 초청정 환경을 기반으로 검사 신뢰도를 확보했다.
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